Dieses Hochvakuum-Messgerät Typ Leybold PenningVac PTR225 No.15734, stammt aus einer Halbleiter-Produktionsmaschine. Dünnschichtprozesse zur Halbleiter-Herstellung finden statt in Kammern, die bis nahe an das absolute Vakuum evakuiert werden. Prozesskammern werden nach der Beschickung, erst mit konventionellen Pumpen leer gesaugt. Ab einem Druck von etwa 5 Millionstel-Bar, evakuiert man weiter mit Turbo-Molekularpumpen oder Kryo-Pumpen. In diesem Bereich wirkt dieses PenningVac PTR 225 Messgerät. Die Moleküle erzeugen in einer Penningfalle ein proportionales Signal, welches ausgewertet und angezeigt werden kann. Das Gerät hat einen Messbereich von 5x10-3 mbar bis hinunter auf 1x10-8 mbar.
Mein PenningVac PTR225 von Oerlikon-Leybold, war die letzten 30 Jahre eingelagert. Davor hat das Messgerät gut funktioniert. Sie bekommen das Messgerät mit passender Flanschdichtung und dem kurzen RJ45 Anschlusskabel. Dazu gibt es eine CD-ROM mit technischen Informationen, Datenblättern und Installations- und Betriebsanleitungen.
Da ich die Funktion des PenningVac PTR225 mit meinen Mitteln nicht testen kann, verkaufe ich das Gerät als defekt.
Ich freue mich auf Ihr Gebot
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